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中芯国际称已进口65纳米设备 明年有望量产


http://www.sina.com.cn 2005年08月27日 08:24 新浪科技

  新浪科技讯 北京时间8月27日消息,当台湾半导体产业还在向当局力争开放0.18微米工艺在内地生产时,中芯国际CEO 24日在上海又公布了工艺研发新计划:中芯已经进口12寸晶圆厂65纳米工艺设备,并展开研发,希望明年底前可推出65纳工艺。

  另一方面,在晶圆代工业界向来在价格上极肯让步的中芯报价,自8月1日起也展开第一波调涨,调升幅度依客户等级不同,约在3%至5%左右。即使微幅调价,中芯报价仍然远
低于台积电及联电的报价水平。

  张汝京所提及近日扩充产能幅度,位于北京

亦庄的12寸晶园厂,去年完工时就已盖好三个厂的硬件部份,其中已经开始投产为晶圆四厂,今年初晶圆六厂开始装机,至今设备产能约有千片,这座厂“基本上可做90纳米”。据悉,中芯北京晶圆六厂,主要仍复制上海中芯八寸厂模式,就是以一座厂专门处理铜工艺,因为铜材料性活泼,常造成生产线污染。中芯上海八寸厂的三厂,就是专门生产德仪0.13微米铜工艺产品的生产线,现在北京十二寸厂的六厂,应也会引入德州仪器的铜工艺IC产品。

  张汝京介绍中芯制程研发进度,90纳米正在试验中,照进度今年内应可量产,希望明年可推出65纳米工艺,再试试45纳米,希望可以逐渐与国际大厂的技术进度接轨,减少差距。此外,中芯天津八吋厂区目前以0.35至0.15微米为主,不久后将试产0.13微米。上海区三个八寸厂由0.35至0.13微米,目前90纳米正在试验中。

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