二手半导体设备：卖点究竟在哪

　　集成电路产业的飞速发展在为半导体新设备带来市场的同时，也为二手半导体设备提供了舞台。二手半导体设备因其价格优势在我国集成电路行业日渐活跃。

　　特约嘉宾

　　蔡南雄 中纬(宁波)公司总经理

　　程建瑞 上海微高精密机械工程有限公司总经理

　　Jon Geniesse KLA-Tencor公司K-T认证部副总裁兼总经理

　　金存忠 中国电子专用设备工业协会秘书长

　　朱贻玮 北京半导体行业协会常务理事

　　翁寿松 无锡市罗特电子有限公司顾问

　　莫大康 本报特约撰稿人

　　目前二手半导体设备市场境况如何？较之于新设备，二手半导体设备的优势在哪里？

　　蔡南雄 买半导体设备与买汽车一样，东西只要一出厂就是二手的了，所以硬要区分一手和二手意义不大。关键要看用来做什么，要看半导体设备的功能和利用这些功能做出的产品要面对的市场。如果是要做1微米的产品，那用二手设备就足够了，而要做65纳米的产品，只能用新设备。

　　另外还有一个因素就是半导体设备的使用期限很长，有些3英寸、4英寸的设备都使用20多年了，还在使用，还能做产品。而且半导体设备的维护和维修特别重要，所有的半导体生产厂都要对设备检修和维护，坏的零部件被及时换掉了，并不会影响整个设备的性能和使用。需要强调的是，要从成本经济的角度综合考量。

　　程建瑞 目前，10年-20年前用于主流微电子产品生产的半导体设备在国外主流半导体制造厂家逐渐失去生产价值，但即使这样的技术在世界大多数国家仍然是空白或生产能力非常有限。因此，4英寸-6英寸、1微米以下0.5微米以上的生产设备占据了目前二手半导体市场的主流。主要设备制造公司多已不生产这种技术档次的设备，满足这种技术节点生产要求的设备只能由退出主流微电子产品生产的二手设备承担。从这个意义上看，这类设备基本没有新设备与其竞争，尤其是还没有国产化的重点关键设备，其优势非常明显：

　　1.经过翻新改造的二手设备性能几乎可以接近同等技术水平的原厂新设备。

　　2.二手设备价格与原厂新设备相比存在绝对优势。

　　3.二手设备所处的技术段的生产工艺技术及材料支撑技术已经过主流微电子产品的生产阶段，发展得非常成熟。

　　Jon 不言而喻，与新设备相比，二手半导体设备具备真正的经济优势。而且，如果运行在适合的工作环境下，其性能也不会降低。但是于客户而言，却大大节约了成本开支。翻新的设备完全能够根据客户的需求，提供所有选项的精确配置。

　　金存忠 近年来，在全球电子信息产品市场的推动下，我国集成电路产业发展迅速，芯片生产线投资大多集中在8英寸以下的生产线，而在美国和日本的集成电路企业，8英寸以下的生产线已逐步被12英寸的生产线所淘汰，这为我国集成电路生产线的建设提供了充足的货源。另一方面，在国外从事二手设备翻新的公司，已经逐渐形成一个较成熟的产业，在我国，中电科技集团公司第45所、第48所及北京七星华创等半导体设备生产厂、所也已经建立了一支专业队伍，为采购和使用半导体二手设备提供了方便。所以，我认为至少在近两三年内，我国8英寸以下的集成电路芯片制造设备市场将主要以二手设备为主。

　　二手设备的优势在于：

　　第一，经过翻新后的二手设备性能可以达到原设备的水平。由于目前全球集成电路的工艺水平发展迅速，所以生产集成电路的工艺设备还没有到达服役期就被更先进的设备所代替，这些二手设备只要更换一些易损件并进行清洗和调试后即可正常工作。

　　第二，价格低。一般在国内进行翻新的二手设备的价格仅是新设备价格的三分之一至五分之一，这是用户考虑选择二手设备的主要因素。为了节约投资，国际上还有生产线设备租赁公司，这也在另一方面推动了二手设备市场的发展。

　　第三，交货时间快。因为二手设备往往是在库房里或在工厂等待用户来选购的，而不是像购买新设备那样，还要根据订单去安排生产。

　　朱贻玮 半导体制造设备在半导体技术发展中起重大作用，业内有这样一种说法：一代设备，一代工艺，一代产品。而硅单晶直径不断增大，从2英寸，经过3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸，现在已进入12英寸的年代。世界上技术先进的国家，前些年主要新建8英寸线；进入21世纪以来，明显看出，美、日、欧洲及亚洲的韩国、新加坡到处都在新建12英寸厂。我们中国位于北京的中芯国际公司的第一条12英寸厂已于去年9月25日正式投产。

　　但是，世界上有六七百条4英寸、5英寸、6英寸线。世界上一些大公司产品技术已经进入到0.25微米甚至更细线条，设备装备进到8英寸、12英寸之后，就会释放出一大批中、小尺寸的硅芯片加工线。这样，就形成了半导体设备的二手市场，产生了一批专门经营二手设备买卖、翻新的公司。而对于发展中国家来说，要想进入IC产业的门槛，或者要想从IC小国发展成IC大国，无论从投入资金、技术难度、人才培养等哪一方面看，采购世界上先进国家释放出来的二手半导体设备，是比较经济和可行的路。

　　翁寿松 二手设备特别适用发展中国家，如中国和印度；资金不十分充裕的IC厂商，如我国各省市的IC企业；大公司、大学的产品研发，如IBM也购买二手设备等。由于半导体芯片按摩尔定律更新换代的速度很快，会有大量的旧设备被淘汰。据美国应用材料公司统计，2003年90%以上的半导体设备订单是购买小于或等于0.15μm工艺的设备，而大于或等于0.25μm工艺的设备势必将被淘汰出局，而这些被淘汰的设备早已折旧完了，出售这些旧设备根本不会赔本，反而有利可图。一方面有厂商愿意卖出，另一方面有公司想买进，又有“红娘”——二手设备中间商牵线，他们已堂堂正正通过国际半导体设备展或网络推销二手设备，所以二手设备市场前景看好。

　　二手设备的最大优势是价格低廉。目前二手设备的价格大致有三种：1.未经整合的、完好的、可用的二手设备，其价格特别便宜。它由二手设备中间商买来后，经专家整理分类，直接卖给客户。2.经整合的二手设备，其价格是新设备的20%。它是根据客户的要求，由二手设备中间商聘请专业人员将旧设备整合到一定程度后再卖给客户。3.完全按原设备厂商标准重新翻造的二手设备，其价格是新设备的60%～70%。

　　莫大康 全球半导体二手设备业至少已经有20年以上的历史，由于存在不同的客户群，有不同的需要，所以二手设备业一直在健康地发展。有统计数据表明，2004年全球半导体设备的销售额为353.1亿美元，而其中二手设备为51亿美元占14.4%，是个不小的数字。

　　二手设备对国内设备企业产生哪些影响？国内从事二手设备翻新的企业有什么优势？

　　蔡南雄 IC的需求从国内来说，不论是技术水平低的还是高的，都一直呈增长的趋势，6英寸加工在国内还有一定的市场潜力，所以国内要把一些资源用于6英寸设备的开发。具体的策略，第一步应该从零配件做起，做好之后，可以做6英寸的设备，而且可以与国际厂商合作，做出性价比高的6英寸设备。在此基础上，还可以将领域进一步延伸至零部件的制造设备，以至于8英寸设备。

　　程建瑞 近两年来，半导体二手设备市场变得非常活跃，呈快速发展壮大的趋势。许多国外二手半导体买卖公司和设备租赁公司在进军中国市场，去年一年内，大约有包括美国二手设备行业协会在内的十家以上的日本、美国、韩国二手设备买卖公司进入中国设立分公司或办事机构。过去的一年里，世界半导体二手设备主要市场在中国。

　　从市场需求分析来看，国内6英寸及以下在建或拟建的生产线、科研机构实验室建设，几乎全部选择二手设备，甚至有些8英寸线也准备选择二手设备，对二手设备的需求几乎包含从20年前的产品到近几年最新的产品，用于不同的半导体产品的生产，市场容量很大，而且将会随着技术的进步持续增长。

　　中国国内二手设备市场目前处于发展的初期，还基本处于无序竞争阶段，存在许多问题急需解决。第一是二手设备的进口政策问题，涉及到进口许可及相关税收政策。第二是市场及二手设备概念的培养问题，包括用户心态习惯等等。第三是人才培养及二手线设备的评估与一手采购。第四是行业组织与规范。第五是二手设备经营者的资金问题。第六是技术服务水平的提升。

　　金存忠 我国从事二手设备翻新工作的专业队伍虽然起步较晚，也就是两三年时间，但是由于我国从事二手设备翻新工作的厂商具有一定的专业水准，因此取得了一定的成绩。我国从事二手设备翻新工作的专业队伍具有以下特点：

　　1.这些企业大多是行业中的骨干企业，有较高的专业技术水平。

　　2.在近几年内，已经为用户翻新了几十台二手设备，受到用户的欢迎，信誉度高。中电科技集团公司第45所在近几年已翻新改造了76台光刻机，中电科技集团公司第48所在2004年翻新了24台离子束注入机，今年已签订了5台8英寸离子束注入机二手设备的翻新合同。

　　3.翻新设备费用要比国外低。

　　4.有良好的售后服务，设备保修，零配件供应方便，这也是购买二手设备的用户最为关注的。

　　朱贻玮 对于我们中国来说，IC上得较早，但在1995年前长期发展缓慢。在上世纪80年代，曾有33个单位引进过生产规模较小的24条3英寸、4英寸线(大部分为3英寸线)。那个阶段引进二手设备的效果并不理想。但其中当年的绍兴871厂(现为华越公司)的3英寸线和4英寸线，以及北京燕东微电子公司的4英寸线是典型的成功例子。1995年之后，又有一批国内公司引进国外的5英寸、6英寸二手设备线。其中，典型的成功例子有绍兴华越的5英寸线和上海新进半导体公司的6英寸线。现在国内生产线不仅在买海外有名大公司的6英寸线，还有买大公司的8英寸线，有的海外大公司则是正在或准备把他们的8英寸线搬来中国建厂。

　　今后，在中国发展IC芯片业的过程中，资金雄厚的单位可以购买8英寸、12英寸新设备。一般单位从经济实用出发，二手设备还是受欢迎的，有其一定的市场。

　　翁寿松 据市场调查公司IC Insights的数据，2001年～2004年中国IC市场复合年增长率为46%，2005年中国IC市场将达343亿美元，比上年增长11%，占全球IC市场的份额近20%，成为全球最大区域的IC市场。为此，美国、日本、欧洲、韩国等地区厂商都想抢占中国IC市场，纷纷把准备淘汰的IC旧生产线向中国转移，这是导致二手设备在中国有市场的原因之一。很多业内人士认为，二手设备在中国大有作为，中国是全球二手设备市场的最大买主。

　　目前国内大多数IC厂商已经准备购买国外二手设备，这对国产半导体设备无疑是一个严重的冲击，甚至是致命的打击。国内半导体新设备市场被国外垄断，旧设备市场又被洋人拿走，真不是滋味。要想振兴我国的半导体设备产业，必须从国家的政策入手，目前我国半导体设备产业与半导体制造业处于不公正的环境中，2000年国务院第18号文件掀起了境外半导体公司来华投资的热潮，使我国的半导体产业飞速发展。但18号文件对国内半导体设备厂商没有带来实质性优惠，他们在销售自己的设备给国内IC制造商时，必须交纳17%的增值税，这使国产半导体设备与国外设备相比，唯一的价格优势大大缩小。若不改变这种情况，我国半导体设备将始终处于被动挨打的局面。

　　莫大康 首先可以确信，中国二手设备的市场是不小的。近年来，除了SMIC、HHNEC等著名8英寸大厂之外，陆续又有许多芯片生产线新建或者扩大产能，如ASMC、华润上华、士兰、中纬等几乎都是旧线。一个简单的道理，建一条8英寸硅片新的生产线要10亿美元以上，而企业只有1亿-2亿美元的融资能力，所以只能上旧线。另外一个很重要原因是，每个企业都有自己的定位：是做0.18微米以下的高端，还是做0.35微米以上的中低端。因此，根据企业自身的市场定位决定上新设备或者旧设备。任何企业的投资都要考虑回报率，这就决定了二手设备业在中国一定有很大的发展。

　　在二手设备市场中，哪种设备最受欢迎？

　　程建瑞 二手设备市场中，原新设备的价值越高，其二手机价格和原新设备的差价就越大，这种设备就越受欢迎，这是普遍情况。当然，受欢迎的设备和它本身的特点也有很大关系，并不是所有的高价值设备的二手机都可以很好地使用，不是所有高价设备都会受欢迎。总体来讲，原设备市场占有率高的设备，由于其优良的性能、充足的备品备件及用户熟悉度高而更受用户的欢迎。

　　Jon 通常状况良好、能够适用于0.18μm至0.35μm技术标准的二手半导体设备销路较好。

　　金存忠 在二手设备市场中，价格昂贵的设备最受用户的欢迎，因为这类设备新旧程度差价大，翻新公司有较好的回报，例如集成电路芯片制造设备中分步重复投影曝光机、离子注入机、扩散炉、CVD等设备最受用户欢迎。

　　翁寿松 前道设备要比后道设备贵很多，所以购买前道二手设备要比购买后道二手设备更划得来，这当然还要看IC厂商的需求而定。

　　莫大康 不好讲，由客户的需求所决定，任何企业一定会比较新旧设备之间的差距才会决定购买什么样的二手设备。

　　购买二手设备应该注意什么问题？

　　蔡南雄 最主要的是要了解二手设备的全面情况，包括可用的情况、使用历史、使用记录和维修的经过等都应该掌握。

　　程建瑞 购买二手设备时，首先要考虑满足生产需求，避免片面追求低价格。其次，要有专业技术人员对下线设备进行技术状态评估。第三，专业人员负责拆装。第四，以下因素也是需要着重考虑的：是否有专业公司承担翻新改造工作；是否由专业公司承担技术服务工作；是否有专业公司供应零配件和耗材；有些设备，是绝对不能使用二手的，如本身老化严重的设备，这类设备的折旧期满意味着报废期到，这类二手设备翻新费用很高，基本上等同于制造新设备。

　　Jon 当可能的买主考虑购买二手半导体设备时，他们通常会问下面这些问题：

　　设备的配置(包括所有的选项)是否能够严格满足用户的需求？

　　客户正在考虑安装的设备能否得到本地设备制造商的支持？从OEM那里能否获得应有的服务？

　　准备采购的二手设备的状况如何？怎样才能了解到设备的状况？

　　是否了解该设备前一次使用的状况？例如，设备是否被用于铜制程？

　　设备制造商(OEM)是否有经过认证的翻新部门，如果有的话，OEM支持的设备都有哪些？

　　一旦设备被安装到买方指定的位置，设备销售商对设备的性能是否负有责任？

　　能够提供什么类型的应用支持和培训服务？

　　设备拥有的短期和长期服务保障是什么？

　　从没有完备记录的供应商那里购买设备对工厂的运营存在哪些风险？是否值得冒此风险？

　　设备的翻新程序是什么？设备附带的资料中是否提供此类文档？

　　购买最新版软件的成本是多少？由谁提供软件以及技术支持？

　　产品升级到更新技术的办法是什么？

　　金存忠 应该注意以下问题：1.确认设备原始生产厂家、型号及配置细节。2.设备状况。是原装机还是翻新过的设备，这两种设备价格相差是很大的。3.翻新公司的可信度、售后服务及技术人员的经验和专业技术水平是选择翻新公司的标准之一。建议不要选择一家公司来翻新整条生产线设备，因为这种公司翻新的设备不可能比专业翻新公司翻新的设备好，选择多家翻新公司来翻新不同的二手设备，这样做起来虽然比较麻烦，但翻新后的设备会达到较好的效果。4.翻新后设备的检验标准应达到原始设备的标准，设备的装箱及运输也应该按照原始设备的标准来运作。5.买卖双方都应该遵守双边国家法律和行业标准，包括知识产权、环境、相关国家和国际法律。

　　朱贻玮 选购二手设备当然要比购买新设备更为小心、谨慎。一些成功的经验表明，买下一条完整的、尚在运行中的工艺设备线要比“拼盘”线好；翻新了的二手设备要比不翻新的好。但对于那些只使用1年～3年、设备运转负荷率并不高的二手设备，可以酌情不用翻新，只要请设备制造厂家派人来安装调试就可以了，这样成本更低。

　　既然是二手设备，再经过一段时间的使用，其零部件当然比新设备容易出毛病。因此，对于二手设备的维护更为重要。而二手设备的备品、备件则是一个头痛的问题。因此，这就产生一个商机：如果有一家或几家公司专注于或兼做二手设备备品、备件的采购、维修乃至制造，必然会受到各芯片厂的欢迎。而各芯片厂之间则可以建立一个设备备品备件合作网，相互之间互通有无，这对大家都有益。

　　翁寿松 购买二手设备必须谨慎，切不能操之过急，千万别买回来一堆废铜烂铁。在购买二手设备时应注意如下几个问题：尽量选择有信誉、有专业维修能力的二手设备中间商，最好确认是否已与原设备制造厂签订过合作协议；购买者要对设备型号与性能比较了解，最好去现场考察，了解二手设备的性能和售后服务；尽量购买原设备制造厂整合翻新的二手设备，虽然价格比二手设备中间商贵一些，但质量有保障。

　　据说国内已有从事二手设备的厂商，这是一件大好事。一是可为本企业创造利润；二是可以学到新技术和新设计，对本企业新设备的设计会有所启发；三是熟悉国内半导体设备市场，能更好地为国内半导体厂商服务。

　　莫大康 我们应该分清两种类型：一种是芯片制造商购买二手设备；另一种是看到中国的市场潜力，想从事二手设备的翻新或者贸易。

　　二手设备一般保证期仅三个月(新设备为一年)，加上二手设备的故障率较高，所以每年一定要留出足够的维修费用，包括购买备件等。此外，还有一个购买二手设备的渠道问题，如从原厂或者是中间商处购买。在选择购买渠道时，千万要想清楚，以免日后麻烦丛生。购买二手设备，自身的维修力量一定要足够，否则总仰仗别人维护设备，这笔投资也是很可观的。

　　许多人都看好二手设备翻新业务，不过一定要知道二手设备在中国的特点：货源在哪里？你从何处才能买到便宜的旧设备及翻新设备？除了人力外，还需充足的备件及资料。因此，在中国要做好二手设备的翻新业务，至少要考虑：首先，国外货源的供应渠道。国外的设备非常市场化，有多个关于二手设备的网站及供应商，一旦某个公司欲出售成套设备，早就有许多厂商盯上，而且大部分是当场就要拍板做决定。其次，翻新业务建议设在保税区内，这样货物进出方便，省关税。最后，应该具有良好的服务体系。