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东京消息,据《日经产业新闻》报道,日本京都大学八尾健教授开发成功使用钛溶液高效率地制作强电介质存储器的 技术,从而能够使这种存储器实现小型化、大容量化和低成本生产。 电介质存储器是用来制造集成电路卡的主要元件,在电源被切断后也不会丢失所存储的信息,迄今为止使用紫外线或 电子束等技术制造,但是布线以外的部分制作起来十分费工。新方法是把玻璃基板上布线以外的部分贴上防蚀剂,浸入到含有 钛的溶液中,在溶液中添加氧化硼后,整块基板上就形成了氧化钛薄膜,然后洗净基板,在温室里加以干燥,再用有机溶液进 行处理,防蚀剂就被溶解,最后只剩下氧化钛电路。 使用这种方法,可以低成本地制作线幅在0.1微米的集成电路, 实现存储器的小型化和大容量化。
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