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荷兰ASML:英特尔不购买157纳米光刻技术机器

http://www.sina.com.cn 2003年05月24日 11:15 ChinaByte

  史荣恩/(ChinaByte )

  ChinaByte 5月24日消息荷兰半导体设备制造商ASML周五说,美国半导体大厂英特尔已通知光刻技术(lithography)机器供应商,它将不会购买下一代的光刻技术工具。

  英特尔虽然将不会购买所谓的157纳米光刻技术工具,但却希望能延长目前这一代193
纳米工具的使用寿命,直到它能直接跨越到使用157纳米工具的下一代产品,也就是名为极端紫外线蚀刻(Extreme Ultraviolet,EUV)的工具。

  EUV能制造比157纳米工具还细微的电子电路,不过目前仍在研发阶段,并仍需要多年才能推出。身为全球最大芯片光刻技术工具制造商,以及英特尔供应商的ASML说,英特尔已通知它这项于本周稍早所做成的决定。目前未能立即取得英特尔对此事的评论。

  而ASML希望,除了英特尔外,其他企业仍能购买157纳米的机器。

  上个月ASML交运了首批157纳米机器给IMEC。分析师对此感到讶异;因为研发频出状况,使他们原本怀疑它是否能准时交货。但是,IMEC表示这款机器的运作颇佳。

  业界消息人士说,英特尔决定越过这项新系统,可能意味着它的使用要求远比IMEC研究中心高,而157纳米机器无法满足其需求。也或许,这是因为英特尔在EUV上已投注了大笔研发经费。

  ASML的股价在1224 GMT下跌了0.13欧元,报7.10欧元。不过分析家说,英特尔的举动对该公司而言,未必是坏消息。

  荷兰国际集团(ING)的瓦尔拉芬(Ewald Walraven)在阿姆斯特丹说:“它不是好消息,但那意味着未来许多年,英特尔还会继续使用193纳米工具。而ASML也不会见到因推出新工具,而导致低利润。”

  英特尔如今希望,能以193纳米机器生产电路细达45纳米的芯片。而那比目前由这些机器可能生产的电路,还要纤细近两倍,它纤细的程度,将比人发的千分之一还细。

  目前英特尔、ASML和其他厂商正合作发展EUV机器。同时,英特尔也期望,能评估来自ASML对手,也就是日本Nikon和Canon的EUV机。(完)


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