IC材料本地化渐热 高纯双氧水项目投产

　　-本报记者 任爱青

　　在我国集成电路产业快速增长的强力拉动下，近一两年来，全球电子材料供应商中国本地化步伐明显加快。日前，苏瑞电子材料有限公司4000吨100ppt级别高纯双氧水厂项目在苏州投产，该公司生产的100ppt级别高纯双氧水将主要为国内8英寸-12英寸IC企业提供配套服务。业内专家表示，从市场的容量来看，集成电路支撑材料实现本地化的条件已经基本成

熟，而本地化供应也将对提升我国集成电路制造业的竞争力产生积极的影响。

　　IC材料本地化时机趋成熟

　　据专家介绍，集成电路制造过程中需要的主要关键原材料有几十种，材料的质量和供应直接影响着集成电路的质量和竞争力，因此支撑关键材料业是集成电路产业链中最上游也是最重要的一环。但与我国集成电路产业快速增长的态势相比，集成电路支撑材料业的发展明显滞后，8英寸生产线所用关键材料大部分依赖进口，12英寸生产线所用材料完全依赖进口。

　　宁波立立电子股份有限公司总经理林必清指出，我国半导体支撑业的发展现状可以用一句话概括，那就是：前景广阔，受制于人。他认为，随着越来越多的国际级半导体企业迁入中国，必然将带动国际级半导体材料供应商在我国内地建立生产基地，将部分生产环节移至中国，加快我国半导体支撑业的发展。

　　有专家为记者算了这样一笔账：一个折旧率高达60%的集成电路制造企业，其材料的费用在整个成本中占有20%左右，而当折旧率降低后，材料所占的比例还会相应提高。按照这样的比例做一个推算，2005年我国芯片制造业销售额达到232.89亿元，其所需要的集成电路材料就在40亿元-50亿元左右，何况，我国的集成电路制造业每年还在以30%左右的速度增长。除此之外，海力士ST无锡的12英寸线已经投产，也有其他半导体巨头表达出要在中国建线的意愿。可以这样说，目前的支撑材料实现本地化供应的市场机遇趋于成熟。

　　材料供应商加快中国布局

　　快速持续增长的中国半导体产业，对上游材料厂商的吸引力不断增强，加快在中国市场的布局，已经成为他们不约而同的行动。

　　去年10月，世界500强德国汉高集团收购我国最大的半导体塑封料厂家江苏中电华威电子股份有限公司，成立了汉高华威电子有限公司。2006年汉高Hysol美国工厂环氧塑封料产品全部转移到

　　9月中旬，全球领先的特殊材料制造商美国罗门哈斯公司位于上海的中国研发中心正式开业。作为世界上光刻技术的发明者，罗门哈斯的光刻胶产品在全球占据最为重要的位置。目前，罗门哈斯中国研发中心已经参与到光刻胶产品的研发工作之中。

　　最近，苏瑞电子材料有限公司4000吨100ppt级别高纯双氧水厂项目在苏州落成，该企业生产的100ppt级别高纯双氧水将主要为国内8英寸-12英寸IC企业提供配套服务。苏瑞电子材料有限公司由比利时苏威公司和苏州电子材料厂有限公司合资兴办。比利时苏威公司作为全球领先的高纯双氧水生产商之一，其Interox品牌双氧水几乎遍布全球领先的半导体芯片公司生产线。而苏州电子材料厂成立于1976年，主要生产IC配套的光刻胶及各类高纯化学试剂，是国内配套最齐全、国际化运作的专业化电子材料公司。

　　谈起为什么要在中国的苏州建厂，苏威高纯双氧水全球经理、苏瑞公司副董事长史道森先生说：“我们清楚地看到中国已经下定决心要建世界级的半导体工业，并且几乎从零开始，它的发展速度、投资规模以及到目前为止已经取得的进步都是相当惊人的。我们也很清楚我们这个合资公司的投资规模放在中国正在发生巨变的大背景下来看是非常小的。然而我们同样深知，能够达到最高纯度的半导体级双氧水对于整个半导体的产业链来说是关键的也是不可缺少的一环。”他接着表示，“苏瑞公司的目标很简单，就是在双氧水供应方面，成为中国半导体行业的最佳合作伙伴。”

　　质量、物流、成本是关键

　　袁桐介绍说，高纯电子化学试剂(双氧水)主要用于芯片的清洗、腐蚀、氧化、掺杂、成膜、光刻和硅圆片及砷化镓圆片等半导体材料的表面清洗，它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性均有十分重要的影响。随着IC集成度的不断提高，对超净高纯电子化学试剂中的可溶性杂质和固体颗粒的控制越来越严，同时对生产环境、包装方式及包装材质也提出了更高的要求，即一代的集成电路产品需要一代的超净高纯试剂与之配套。

　　袁桐指出，目前0.25微米、0.18微米和0.13微米工艺已经成为我国集成电路主流制造技术，与之相应的对高纯化学试剂的要求也已从SEMI C-1、C-7标准提升至SEMI C-8、C-12。与此同时，中国已成为全球第二大集成电路市场，对超净高纯化学试剂的总的年用量估计在6万-7万吨，其中双氧水的年用量约8000吨。她还预测，随着我国集成电路和光电产业的不断增长，对超净高纯试剂的需求量会呈现不断上升的态势。

　　苏州市电子材料厂有限公司董事长尤家栋认为，现在集成电路制造技术进步很快，对材料的要求也在不断提升，质量管理、物流服务和成本控制三者的完美结合，才是电子化学品公司竞争力的体现，苏瑞的高纯双氧水项目体现了这一点。

　　史道森解释说，苏威公司独有的“增强工艺”的创新设计技术，使高纯双氧水工艺达到了一个新的高度，苏威可以把工厂建得小很多，但可以生产出同样多的产品。所以，在保留目前在欧洲和美国使用相同工艺步骤的前提下，苏瑞公司已经成功地将所需的设备及其他设施的尺寸缩小了，从而降低了投资成本。他同时认为，由于运输路线太长导致成本上升的

　　尤家栋表示，根据我国地域辽阔而集成电路产业相对集中的特点，位于苏州的高纯双氧水工厂可以提供极及时的低成本的产品服务，苏瑞公司将在中国开辟按最高国际质量标准生产并供应超高纯双氧水的先河。

　　苏瑞公司总经理吴天舒介绍说，苏瑞的设备全部来自德国，而且在德国工厂已经运行了6个月，苏瑞从本月开始投产，初期产能为2000吨，紧急供货可以在24小时到位，产量也很容易扩到4000吨。

　　据记者了解，目前国内几家大型的集成电路制造厂所用的高纯双氧水全部依赖进口。有关人士表示，如果苏瑞的产品质量可靠，物流便利且价格优惠的话，会考虑采用苏瑞的产品。但毕竟苏瑞刚刚投产，工厂的认证和客户的认可都还需要一个过程。尤家栋也透露，公司目前的生产原料还主要依赖进口，今后将逐步采用中国的原料，以便在保证产品质量和物流的同时，进一步降低产品的成本。

　　集成电路制造厂有关人士指出，对制造厂来说，材料本地化供应有诸多好处，不但方便、便宜而且可以做到原材料的备份，保障生产线的正常运转和产品质量的稳定，并有利于进一步降低成本和提升竞争力。