超净高纯微电子化学品实现国产化

　　本报讯(见习记者杨群)昨天，上海华谊微电子材料有限公司年产15000吨的超净高纯微电子化学品项目建成投产。产品质量达到了国际标准，可以满足12英寸芯片超大规模集成电路制造工艺的要求。

　　超净高纯试剂是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一，目前全球只有少数几家欧、美、日等跨国企业能够生产制造。随着上海华谊微电子材料有限公司超

净高纯微电子化学品项目的建成投产，国内大规模集成电路制造业将逐步改变依赖进口微电子化学品的状况。