半导体设备考问零部件本地化

　　本报记者 梁红兵

　　有消息称，进入中国市场超过20年的全球最大的半导体设备供应商应用材料公司，在最近几年一直在中国寻找可提供配套服务的零部件提供商，但到目前为止，应用材料在开发本土零部件资源方面还在继续探索之中。半导体设备零部件的本地化正引起各方关注。

　　SEMI预测，今年中国芯片制造商预计将购买价值19亿美元的半导体材料以及约16亿美元的最新半导体设备。“当设备及材料总价值达到55亿美元时，我们将会看到从今年到2008年，中国半导体市场将会实现两位数的增长。”SEMI总裁兼首席执行官Stanley Myers认为。中国市场是巨大的，设备产业的发展对整体产业的进步意义深远，同时设备产业的发展也必然带来与半导体设备相关的零部件的本土化问题。信息产业部电子信息产品管理司基础产品处处长王勃华在SEMICON China2006期间举办的“半导体设备本土化与本土化采购高层研讨会”上强调，半导体设备零部件的本土化是市场发展的必然趋势，市场的发展带动了半导体设备和零部件的发展，而且这种发展是必然趋势。

　　发展设备产业零部件是切入点

　　在我国倡导自主创新的今天，零部件的发展对未来中国半导体设备产业的发展将具有极大的推动作用，这一点毋庸置疑。东电电子(上海)有限公司总裁陈捷认为，半导体市场发展有自身的特点，从8英寸到12英寸后，由于产能的成倍增加，设备的机台数明显减少。这是一个僧多粥少的产业，产业波动巨大，竞争激烈。同时客户的全球化趋势明显，因此在中国出现新的设备厂商很难。陈捷强调，国产化不应该是狭义的。就像集成电路产业一样，中国的华虹NEC、宏力半导体都是合资企业的代表。我们要做的关键是找到切入点，而零部件就是一个很好的切入点。“我们可以通过与国外大厂合资的渠道获得技术与品牌效应，从而快速提升竞争力。还有一个方法即是或者在行业低谷之时，购买一些技术较强的国外企业，转到中国制造。或者走单机台多用途的mini-line等道路，也是避开与其他品牌竞争的一种选择。在消费类电子产品量小、品种多、周期快的趋势下，mini-line很可能将在未来兴起。”陈捷指出。

　　作为一家本土的设备供应商，中微半导体设备有限公司的产品面向300mm、90nm以下技术。中微半导体设备有限公司全球客户服务及备件业务部长吴万俊强调，希望中国制造不等同于低价格和低质量，特别是半导体设备行业。本土零部件产业的发展对我国基础产业的发展、对本土设备产业的发展都是意义深远的。“设备产业的市场需求量小，技术含量高，稳定性要求高，而且产业的波动性更大，这一点与消费类产品市场完全不同。如果零部件供应商的产品质量不能保持高度一致，不能适应产业的特点，或者只是单纯追求短期的效益，那么将很难满足半导体产业的要求。”吴万俊说。

　　完善产业链需业界共同努力

　　我国在“十一五”规划中再一次突出强调了要加强制造业的发展，其中包括半导体设备及零部件。要想实现半导体设备及零部件的本土化，不言而喻，要业界上下统一认识，更需要产业链条上各相关企业携手共同努力。

　　中微吴万俊介绍：“从采购价值的角度分析，目前中微的设备中仅有9%的零部件购自中国供应商，我们计划在近两年将这一数字提升到25%，到2010年达到40%。而提升这一比例一定不是中微一家公司能够做到的，这需要从上到下的支持。”

　　随着二手设备在中国市场业务的不断扩大，中国半导体制造厂经常会面临二手设备翻新时找不到合适的备件以及一些早期的设备原厂已没有相关的备件支持等问题。在这种情况下，零部件本土化的重要性日益凸现。对此，上海微高精密机械工程有限公司高级销售经理钟敏认为，在这种情况下，实现零部件本土化才能够降低设备使用者的成本，打破目前零部件工业对我们发展的制约，同时带动整体制造业的进步。而我们要做的就是充分利用国内外的有效资源，特别是国外的资源，实现洋为中用；其次是积极在本土寻找加工公司和制造商。“零部件的本土化是一项需要循序渐进的工作。本土化必须从零部件开始，然后是子系统，继而实现设备的本土化，这不是一家公司的努力能够实现的，需要业界共同面对。”钟敏说。

　　精彩观点

　　基础产品处处长王勃华：

　　零部件本土化是市场发展趋势

　　半导体设备零部件的本土化是市场发展的必然趋势，市场的发展带动了半导体设备和零部件的发展，而且这种发展是必然趋势。

　　电子信息产业近年来一直保持高速发展，整机市场的发展带动了集成电路产业和市场的发展。与此同时，分立器件在“十一五”期间将保持15%以上的增长速度；LED市场将从2004年的250亿只增加到2010年的740亿只；FPD中的TFT-LCD市场也将在“十一五”期间得到快速发展。太阳能电池方面，我国目前有近230家以上的企业已开始采购设备或正在制定采购计划，太阳能电池制造厂已经进入了设备采购阶段。由于多晶硅材料的短缺，有两家中国的单晶炉制造厂去年的销售额都超过了1亿元，一些地区正在对建设多晶硅材料厂进行前期考察。

　　半导体相关市场的发展牵动了支撑产业的发展。相关的设备、仪器与材料在中国的本土化将被提上日程。目前中国的设备、仪器和材料公司超过100家，零部件公司正在起步，中国公司的技术水平正在迅速提高，国家也高度重视包括半导体设备在内的装备制造业，未来的机会还很多。从设备行业来看，中国公司的技术水平正在提高，目前100nm以下的设备已进入验收阶段。

　　从规模来讲，中国已成为电子信息产业大国，但从技术上看远远不是强国。要实现由大到强的转变就要抓根本，而半导体设备就是根本之一。信息产业部已制定了支持电子基础产品的措施，半导体设备与材料都被列入了规划的范围。中国的市场是巨大的，设备产业的发展对整体产业的进步意义深远。同时设备产业的发展，也必然带来与半导体设备相关的零部件的本土化问题。因为随着市场的发展，这些零部件不可能总是到国外购买，所以我认为这一市场有很大的发展空间，而且越早进入机会越好。

　　东电电子(上海)有限公司总裁陈捷：

　　mini-line将在未来兴起

　　虽然设备行业只有30亿美元的销售额，仅占全球GDP的千分之一，但它是支撑产业，意义非常重要。从战略的角度看，中国是大国，应该有一个完整的全盘的工业产业。从本土制造能力的角度分析，本土制造的设备与国外同样的设备相比，价格只有其50%-70%。中国的未来市场是巨大的，中国本土的企业应该积极参与竞争，赢得自己的市场份额。

　　但是，半导体市场有自己的特点。从8英寸到12英寸后，由于产能的成倍增加，设备的机台数明显减少。而中国目前市场的特点是50%以上是二手设备，因此从经济的角度看，这是一个僧多粥少的产业，兼并与收购非常频繁，产业波动巨大，竞争激烈，而且正日趋成熟，这也意味着利润越来越薄。同时客户的全球化趋势明显，因此在中国出现新的设备厂商是很难了。

　　但是国产化不应该是狭义的，就像集成电路产业一样，中国的华虹NEC、宏力半导体都是合资企业的代表。我们要做的关键是找到切入点，而零部件就是一个很好的切入点。我们可以通过与国外大厂合资的渠道获得技术与品牌效应，从而快速提升竞争力。还有一个方法即是或者在行业低谷之时，购买一些技术较强的国外企业，转到中国制造。或者走单机台多用途的mini-line等道路，也是避开与其他品牌竞争的一种选择。在消费类电子产品量小、品种多、周期快的趋势下，mini-line很可能将在未来兴起。

　　另外，希望中国政府有好的政策引导与支持，包括鼓励外商设备公司扎根中国，吸引更多的人才加入我们的产业，中国必须要有自己完整的半导体产业链。

　　中微半导体设备有限公司全球客户服务及备件业务部长吴万俊：

　　从中国购买零部件比例将提升至40%

　　作为一家本土的CVD和刻蚀设备供应商，中微的产品面向300mm、90nm以下技术。我们希望中国制造不等同于低价格和低质量，特别是半导体设备行业。而本土零部件产业的发展对我国基础产业的发展、对本土设备产业的发展都是意义深远的。

　　从采购价值的角度分析，目前中微的设备中仅有9%的零部件购自中国，我们计划在近两年将这一数字提升到25%，到2010年达到40%，这需要从上到下的支持。目前中国的铝、不锈钢及粉末材料等质量与半导体产业的要求都有一定的差距，虽然试剂、气体等方面已实现了部分本土化，但仍需要进一步扎根本土。而从短期发展的角度，金属加工和表面处理、气体运输等方面应该是中国零部件厂商重点发展的方向；从长期发展的角度，铝、单晶和多晶硅、钛等原材料、射频源和真空泵等应该是发展的重点。

　　设备产业的市场需求量小，技术含量高，稳定性要求高，而且产业波动性更大，这一点与消费类产品市场完全不同。如果零部件供应商产品质量不能保持高度一致，不能适应产业的特点，或者只是单纯追求短期的效益，那么将很难满足半导体产业的要求。

　　当然，任何国家都不可能实现100%的纯本土化制造。中微的发展同样也离不开中国以及周边国家的支持，我们希望最终实现的不仅是中国制造，而是本土设计、本土制造，服务于本土市场。

　　Air Liquide中国东区总经理胡兆华：

　　寻找稳定的原料供应商尤为重要

　　很多人都在议论在中国实现本土化的各种问题和担心，Air Liquide在中国的15年内，不仅在杭州设立了合资的工程中心，为中国及全球客户提供相关的设备，而且在2005年决定在上海张江投资1500万美元，设立电子材料中心，为中国的半导体及相关产业提供电子特种气体。Air Liquide希望将自己在本土化过程中的经验拿来与业界分享。

　　我们为全球的客户提供世界级的产品，对中国客户也有同样的许诺，约50种电子特种气体在450步左右的半导体工艺中应用，如果它们是进口的，运输的费用将十分可观昂贵，而且安全性的隐患也会更多，这必然会降低我们客户在全球市场的竞争力。因此我们把材料、技术和应用带到中国是必须的，同时本土化的制造也提高了我们在中国的竞争力。

　　上海微高精密机械工程有限公司高级销售经理钟敏：

　　本土化必须从零部件开始

　　中国的半导体制造厂经常会面临这样的问题：二手设备翻新时由于找不到合适的备件而必须以旧换新，从而带来成本的大幅提高；一些早期的设备原厂已没有相关的备件支持，但中国制造厂还在使用该设备；虽然来自设备供应商的备件质量很有保证，但是价格也很高，而且由于进出口等因素，周期经常不可控。

　　在这种情况下，零部件本土化的重要性日益凸现。实现零部件本土化才能够降低设备使用者的成本，打破零部件业对我们发展的制约，同时带动整体制造业的进步。

　　而我们要做的就是充分利用国内外的有效资源，特别是国外的资源，实现洋为中用；其次是积极在本土寻找加工公司和制造商；另外就是要有自主研发，例如上海微高在陶瓷件、机械件、PCB、计算机系统和软件的自主研发等方面都有了一定的成果。

　　零部件的本土化也是一项需要循序渐进的工作，本土化必须从零部件开始，然后是子系统，继而实现设备的本土化，这不是一家公司的努力能够实现的。构造完整的产业链对中国的半导体设备与制造业的发展都具有深远意义。