8英寸硅单晶抛光片中国造 | |
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http://www.sina.com.cn 2003年12月20日 17:48 解放日报 | |
据新华社北京12月19日电 (记者刘红灿) “直径200mm(8英寸)硅单晶抛光片高技术产业化示范工程”19日通过国家整体验收。承担此项目的北京有色金属研究总院(简称“有研总院”)利用自主知识产权技术,形成了年产6000万平方英寸8英寸硅单晶抛光片的生产能力。据介绍,这是我国目前建设成功的第一条可满足0.25微米线宽集成电路需求的8英寸硅单晶抛光片生产线。 有研总院院长屠海令介绍说,示范工程生产的硅单晶抛光片已在国内大批量应用,并向国际一流集成电路制造公司批量供货。如今,示范工程生产线运行状况良好,销量稳步增长。 |