LCD制造突出环保主题

http://www.sina.com.cn 2008年04月29日 14:56  中国电子报

  TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)已经在FPD(平板显示)行业占据了主流地位,各大厂商为降低成本、提高生产效率,长期以来不断地致力于增大玻璃基板的尺寸,从而带动了生产设备的不断更新。与此同时,环保、节能的理念也逐渐渗透到生产制造的过程之中。在过去10年里,中国大陆建设TFT-LCD产业链的工作已经卓有成效,现在更需要全行业齐心协力,尽力缩小与世界先进水平的差距。

  截至今年,“FinetechJapan”FPD研发及制造技术博览会已举办了18届。18年前,第1代TFT-LCD产品刚刚投入量产,如今,第10代生产线已在建设之中。消费类电子产品、个人电脑、笔记本电脑和液晶电视等领域的需求为液晶显示产业提供了广阔的发展空间。

  欲善其事 先利其器

  在平板显示行业,制造设备总是随着产品的更新换代而水涨船高。在本届博览会上,半导体和平板显示业内知名设备制造商TEL(东电电子)展示了该公司于2007年推出的两款新设备:用于7.5代和8代TFT-LCD涂胶/显影的Exceliner系列及用于7.5代和8代TFT-LCD等离子刻蚀/去胶的Impressio系列。与现有的6代涂胶/显影设备相比,Exceliner系列的玻璃基板传送驱动部分体积缩减了70%,玻璃基板的垂直传送距离减少了80%,加工过程中玻璃的破损率也大幅降低。并且,由于设备高度的下降,生产的安全系数也得以提升。Impressio系列则是多腔体的等离子刻蚀/去胶设备,可用于非晶硅的刻蚀、绝缘层的刻蚀、金属层的刻蚀以及干法去胶。该设备最多可提供3个反应腔体,用于进行刻蚀或去胶的操作。当然,TEL显然也没有“忘记”中小尺寸平板显示器,该公司还展示了用于4.5代线的干法刻蚀机——— HT系列。该系列的特点是不仅可以用于非晶硅TFT-LCD的加工,而且可以用于LTPS(低温多晶硅)工艺。该设备配置有4个反应腔体,并可由客户选择4种不同的反应模式。

  随着TFT-LCD世代的提升,玻璃基板的尺寸不断增大,生产设备也向着大型化、自动化方向发展。如果说玻璃基板尺寸为 1100mm×1300mm的5代生产线还可以部分地依靠人力进行物料搬运的话,6代(基板尺寸为1500mm×1800mm)以上的生产线则必须完全依赖智能化的机械设备。目前,夏普的10代线加工的玻璃基板尺寸已经达到2850mm×3050mm,用于传递玻璃基板的机器人就成了整条生产线的重要环节。在本届博览会上,安川电机展示了用于10代TFT-LCD生产线的机器人——— MOTOMAN-CDL3000D。该设备采用双悬臂架构,每个悬臂荷载为100kg。设备高度约为5.8m,垂直输送距离为4m,旋转角度为340°,并具备高速、高精度的特征。由于具有优异的性能,在本届博览会中,该设备获得了组委会所评选的ADY奖(显示行业年度奖)。

  在平板显示器的生产中,测试设备也是不可或缺的。德国ISRA(伊斯拉视像系统公司)展示了FPD业界专用的AOI(自动光学检测)系统,该系统用于TFT-LCD生产的阵列部分、彩色滤光片部分和模组部分,可实时地监控生产过程,不断收集信息并即使地反馈到生产线上,从而提高产品的成品率。

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